H60六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)壓電偏擺臺(tái)

H60系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)，是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)，通過六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調(diào)伸縮實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)，臺(tái)體結(jié)構(gòu)緊湊，三種規(guī)格型號(hào)可供選擇，閉環(huán)型號(hào)定位精度高，是六自由度微操作、微電子精密加工等應(yīng)用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線與角度位移一款。

產(chǎn)品特點(diǎn)

 六維θx, θy, θz, X, Y, Z軸運(yùn)動(dòng)

 小耦合

 閉環(huán)定位精度高

 誤差無積累

H60六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)壓電偏擺臺(tái)